Unsere Präzisionsspritzgegossenen PEEK Wafer-Handhabungszangen sind speziell für die kritischsten und anspruchsvollsten Handhabungsaufgaben in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie entwickelt. Wir sind spezialisiert auf hochreine Polymerlösungen und verwalten den gesamten Lebenszyklus von kundenspezifischem Präzisionsspritzguss bis hin zur Kleinserien- oder Massenproduktion mit Toleranzen, die innerhalb von $pm0.01text{mm}$.
Unübertroffene PEEK-Leistung:
Diese Zangen werden aus hochwertigem PEEK (Polyetheretherketon)-Harz geformt und bieten eine einzigartige Kombination von außergewöhnlichen Eigenschaften, die eine Beschädigung und Kontamination während der Waferbearbeitung ausschließen:
Außergewöhnliche chemische Beständigkeit: Nahezu inert, bietet nahezu universelle Beständigkeit gegen Säuren, Basen und aggressive Reinraum-Lösungsmittel.
Hohe thermische Stabilität: Behält die strukturelle Integrität bei kontinuierlichen Betriebstemperaturen bis zu 260°C.
Ultra-geringe Kontamination: Verhindert Partikel- und Ionenkontamination, was für die Wafer-Handhabung mit hoher Ausbeute entscheidend ist.
Optimierte Handhabung:
Die komplexe Spitzengeometrie ist speziell für das präzise Greifen von Waferkanten konzipiert. Die gekrümmten, glatten Spitzen minimieren die Kontaktfläche, um Wafer-Stress zu vermeiden, während die steifen, konturierten Griffe eine ausgezeichnete Ergonomie und Kontrolle bieten.
Anwendungen:
Perfekt für die Nasschemische Reinigung (RCA Clean), Ätzen, Lösungsmittelhandhabung, Qualitätsinspektion und Integration in automatisierte Handhabungssysteme.